Optical characterization techniques for high-performance microelectronic device manufacturing III - 16-17 October 1996, Austin, Texas
- Författare
- (Damon DeBusk, Ray T. Chen, chairs/editors.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 1996 | USA |